3D Reconstruction

Med 3D Roughness Reconstruction-applikasjonen kan Phenom desktop SEM-systemer generere tredimensjonale bilder og målinger av ruhet på submikrometernivå.

3D-bilder bidrar til å tolke prøvekarakteristikker og gjør bildene forståelige for en større gruppe brukere. Det er ofte vanskelig, for eksempel, å identifisere bulker, riper og grad fra flate 2D-bilder. Måling av gjennomsnittlig ruhet (Ra) og ruhetshøyde (Rz) er kritisk for å kontrollere og forstå produksjonsprosesser. Ved å bruke SEM-bilder for datainnsamling, kan en mye bedre oppløsning oppnås enn ved å bruke tradisjonelle (indirekte) metoder.

Nøkkelspesifikasjoner

Intuitivt brukergrensesnitt, maksimal brukervennlighet

Intuitivt fullautomatisk brukergrensesnitt

Basert på «shape from shading»-teknologi

Rask rekonstruksjon