Fiji
Behöver du hjälp?
Vi hjälper dig hitta rätt lösning. Vi erbjuder support, service, kalibrering och utbildningar för alla våra produkter. Kontakta oss för serviceavtal!
Service & reparation OffertförfråganFiji®-serien är ett modulärt, högvakuum ALD-system som rymmer ett brett utbud av deponeringslägen med hjälp av en flexibel arkitektur och flera konfigurationer av prekursorer och plasmagaser. Resultatet är nästa generations ALD-system som kan utföra plasmaförbättrad och termisk deponering.
Fiji®s avancerade funktioner inkluderar:
- Patenterat Chamber Turbo Pumping System
- Förbättrad plasmadesign
- Ergonomiskt operatörsgränssnitt
- In-situ ellipsometri
- In-Situ Quartz Crystal Microbalance
- Integrerad ozon
- Glove Box Interface
Fiji® finns i flera olika konfigurationer, inklusive Dual Chamber och Load Lock. Varje kammare kan konfigureras med upp till sex prekursorlinjer som kan rymma fasta, flytande eller gasprekursorer, och sex plasmagasledningar, vilket erbjuder betydande experimentell flexibilitet i ett kompakt och prisvärt format.
Kontakt
Chris Bradburn
- Försäljning - Materialanalys
- Telefon: +46 (0)18-56 68 09
- Mobil: +46 (0)70-396 18 88
- chris.bradburn@gammadata.se
Teknisk specifikation
Tekniska specifikationer:
| Driftlägen | Continuous Mode™ (traditionell termisk ALD) Exposure Mode™ (High Aspect Ratio ALD) Plasma Mode™ (Plasma-Enhanced ALD) |
| Substratstorlek | Upp till 200 mm |
| Substrattemperatur | 500°C 200 mm (standard) 800°C 100 mm (tillval) |
| Enhetlighet, beläggning | 1 σ Uniformities Thermal Al2O3 – 1.5% Plasma Al2O3 – 1.5% |
| Prekursorer | 4 prekursorlinjer standard, upp till 6 som tillval Gas-, vätske-, eller fastprekursorer individuellt uppvärmingsbara till 200°C Industristandard höghastighets ALD -ventiler (10 ms minsta pulstid) Allmänt tillgängliga 50 cc (max 25 ml) prekursorcylindrar i rostfritt stål |
| Prekursorsystem, gaser | 100 sccm Ar prekursor bärgas MFC 200 sccm Ar plasmagas MFC 100 sccm N2 plasmagas MFC 100 sccm O2 plasmagas MFC 100 sccm H2 plasmagas MFC |
| Fälla | Integrerad, uppvärmd, tunnfolie ALD-fälla |
| Kompatibilitet | Renrum Klass 100-kompatibel |
| Efterlevnad | CE, TUV, FCC |
| Dimensioner | F200: 1600 x 715 x 1920 mm F200 med Load Lock: 1845 x 715 x 1920 mm |
| Effekt | 220-240 VAC, 4200 W per reaktor (exklusive pump) |
| Styrning | Microsoft Windows™ 7 Laptop PC, LabView baserad systemkontrol |
| Vakuumpump | >50CFM torrpump kvävs Kan erbjudas, eller tillhandahållas från kund |
| Systemalternativ | Spektroskopiska Ellipsometerportar Quartz Crystal Microbalance RGA Port Optisk Emissionspektrometer Wafer Plus Ozongenerator Low Vapor Pressure Deposition Glove box Interface Load Lock |