Atomskiktsavsättning
Veeco är den ledande ALD-leverantören till akademiska institutioner och industriella kunder över hela världen, med över 530 ALD-system levererade för FoU och produktion.
Savannah® Thermal och Fiji® Plasma-systemen är ALD-plattformarna för FoU och har citerats i mer än 2 000 referentgranskade akademiska artiklar.
För helautomatiserade industriella lösningar för tillverkning av stora volymer (HVM) kombinerar ALD lägsta ägandekostnad, överlägsen genomströmning och högsta kvalitetsstandard, den nya Firebird™ HVM och den beprövade Phoenix®-plattformen är skräddarsydd för att möta specifika kundbehov i vad gäller ALD-processprestanda, waferhantering och genomströmning samt flexibel termisk hantering.
Savannah

Savannah® har blivit det självklara valet för forskare som är engagerade i ALD över hela världen, och som letar efter ett prisvärt men ändå...
Fiji

Fiji®-serien är ett modulärt, högvakuum ALD-system som rymmer ett brett utbud av deponeringslägen med hjälp av en flexibel arkitektur och flera...