Atomskiktsavsättning
Veeco är den ledande ALD-leverantören till akademiska institutioner och industriella kunder över hela världen, med över 530 ALD-system levererade för FoU och produktion.
Savannah® Thermal och Fiji Plasma-systemen är ALD-plattformarna för FoU och har citerats i mer än 2 000 referentgranskade akademiska artiklar.
För helautomatiserade industriella lösningar för tillverkning av stora volymer (HVM) kombinerar ALD lägsta ägandekostnad, överlägsen genomströmning och högsta kvalitetsstandard, den nya Firebird HVM och den beprövade Phoenix-plattformen är skräddarsydd för att möta specifika kundbehov i vad gäller ALD-processprestanda, waferhantering och genomströmning samt flexibel termisk hantering.
Fiji
Fiji®-serien är ett modulärt, högvakuum ALD-system som rymmer ett brett utbud av deponeringslägen med hjälp av en flexibel arkitektur och flera...
Firebird
Firebird™-systemet är en helautomatiserad ALD-plattform för batchproduktion som levererar enastående homogenitet med marknadens bästa flöde...
Phoenix
Phoenix®-systemet är utformat med hög genomströmning och maximal drifttid i alla tillverkningsmiljöer i åtanke, från pilotproduktion till...
