Atomikerrospinnoitus
Veeco on johtava ALD-toimittaja korkeakouluille ja teollisuusasiakkaille maailmanlaajuisesti. Yli 530 ALD-järjestelmää toimitetaan T&K- ja tuotantokäyttöön.
Savannah® Thermal- ja Fiji Plasma -järjestelmät ovat T&K-toiminnan ALD-alustoja, ja niitä on lainattu yli 2 000 vertaisarvioidussa akateemisessa julkaisussa.
Uusi Firebird HVM ja todistettu Phoenix-alusta on räätälöity vastaamaan asiakkaiden erityistarpeita. Täysin automatisoiduissa teollisissa ratkaisuissa suurvolyymituotantoon (HVM) ALD yhdistää alhaisimmat omistuskustannukset, ylivoimainen suorituskyky ja korkeimmat laatuvaatimukset ALD-prosessin suorituskyvyn, kiekkojen käsittelyn ja suorituskyvyn sekä joustavan lämmönhallinnan ehdot.
Fiji
Fiji® series is a modular, high-vacuum ALD system that accommodates a wide range of deposition modes using a flexible architecture and multiple...
Firebird
The Firebird™ system is a fully automated batch production ALD platform delivering superb uniformity with best-in-class throughput at the lowest...
Phoenix
The Phoenix® system is engineered for high throughput and maximum uptime in any fabrication environment, from pilot production to industrial-grade...
Savannah
Savannah® has become the preferred system for university researchers worldwide engaged in ALD and looking for an affordable yet robust platform. We...