Atomlagsavsetning

Veeco er den ledende ALD-leverandøren til akademiske institusjoner og industrielle kunder over hele verden, med over 530 ALD-systemer sendt for FoU og produksjon.

Savannah® Thermal og Fiji Plasma-systemene er ALD-plattformene som er valgt for FoU og har blitt sitert i mer enn 2000 fagfellevurderte akademiske artikler.

For helautomatiserte industrielle løsninger for høyvolumsproduksjon (HVM) kombinerer ALD laveste eierkostnader, overlegen gjennomstrømning og de høyeste kvalitetsstandardene, den nye Firebird HVM og velprøvde Phoenix-plattformen er skreddersydd for å møte spesifikke kundebehov i når det gjelder ALD-prosessytelse, waferhåndtering og gjennomstrømning samt fleksibel termisk styring.