Atomlagsavsetning
Veeco er den ledende ALD-leverandøren til akademiske institusjoner og industrielle kunder over hele verden, med over 530 ALD-systemer sendt for FoU og produksjon.
Savannah® Thermal og Fiji® Plasma-systemene er ALD-plattformene som er valgt for FoU og har blitt sitert i mer enn 2000 fagfellevurderte akademiske artikler.
For helautomatiserte industrielle løsninger for høyvolumsproduksjon (HVM) kombinerer ALD laveste eierkostnader, overlegen gjennomstrømning og de høyeste kvalitetsstandardene, den nye Firebird™ HVM og velprøvde Phoenix®-plattformen er skreddersydd for å møte spesifikke kundebehov i når det gjelder ALD-prosessytelse, waferhåndtering og gjennomstrømning samt fleksibel termisk styring.
Savannah
Savannah® has become the preferred system for university researchers worldwide engaged in ALD and looking for an affordable yet robust platform. We...
Firebird
The Firebird™ system is a fully automated batch production ALD platform delivering superb uniformity with best-in-class throughput at the lowest...
Fiji
Fiji® series is a modular, high-vacuum ALD system that accommodates a wide range of deposition modes using a flexible architecture and multiple...
